半导体材料是导电性介于导体(如金属)和绝缘体(如陶瓷)之间的功能性材料,其电学特性可通过掺杂、电场或光照调控,成为集成电路、光电器件和功率器件的核心基础。以下从材料体系、特性、应用及前沿发展展开系统介绍:
1. 半导体材料分类
(1) 按成分与结构
元素半导体:硅(Si)、锗(Ge)等,硅占全球半导体市场95%以上。
化合物半导体:
III-V族(GaAs、GaN、InP):高频、光电特性优,用于5G、激光器。
II-VI族(ZnSe、CdTe):光电器件(如红外探测)。
宽禁带半导体(SiC、GaN):耐高压高温,适用于新能源车、快充。
有机半导体:柔性电子、OLED显示。
(2) 按形态
单晶材料(硅晶圆、SOI):高纯度、低缺陷,主流集成电路基材。
多晶/非晶材料(多晶硅、α-Si):成本低,用于光伏、显示面板。
2. 关键特性参数
特性意义典型材料示例
禁带宽度(Eg) 决定导电性与光电响应 Si(1.12eV)、GaN(3.4eV)
电子迁移率 影响器件速度 GaAs(8500 cm²/V·s) > Si(1400)
热导率 散热能力关键 SiC(4.9 W/cm·K) > Si(1.5)
击穿电场 耐高压能力 GaN(3.3 MV/cm) > Si(0.3)
3. 主流半导体材料及应用
(1) 硅(Si)
优势:成本低、工艺成熟、氧化物稳定(SiO₂)。
应用:逻辑芯片(CPU/GPU)、存储器(DRAM/NAND)。
(2) 砷化镓(GaAs)
优势:高频低噪、光电效率高。
应用:射频前端(5G)、卫星通信、激光二极管。
(3) 碳化硅(SiC) & 氮化镓(GaN)
优势:宽禁带、耐高温高压、高效能量转换。
应用:电动车逆变器(SiC)、快充充电器(GaN)。
(4) 氧化铟锡(ITO) & 新型透明半导体
应用:触摸屏、柔性显示(可替代材料:石墨烯、金属网格)。
4. 前沿材料与趋势
(1) 二维半导体材料
二硫化钼(MoS₂):原子级厚度,适用于1nm以下晶体管。
石墨烯:超高迁移率,但缺乏带隙,需改性应用。
(2) 拓扑绝缘体
特性:体相绝缘、表面导电,有望用于自旋电子器件。
(3) 钙钛矿半导体
应用:低成本高效率太阳能电池(实验室效率>25%)。
(4) 生物半导体
DNA/蛋白质基材料:可降解电子设备、生物传感器。
5. 半导体材料制备技术
单晶生长:CZ法(硅)、MBE(化合物半导体)。
薄膜沉积:CVD(SiC)、MOCVD(GaN)。
晶圆加工:切割、抛光、外延(Epitaxy)。