2026.07.01
MEMS代工主流干法刻蚀技术原理与加工优势
微机电系统（MEMS）器件朝着微型化、高精度、高集成度方向快速迭代，刻蚀作为MEMS代工核心微纳加工工艺，直接决定器件的结构精度、性能稳定性与良率。相较于传统湿法刻蚀，干法刻蚀凭借精准的结构塑造能力，成为当前MEMS代工领域的主流工艺，广泛应用于传感器、微执行器、微型流体器件等产品的规模化生产。干法刻蚀依托等离子体作用实现材料去除，融合物理轰击与化学反应双重机制，完美适配MEMS复杂高深、精细化的
