2026.08.27
MEMS衬底选型全解析：材料特性、优劣对比与场景取舍
在AIoT、车规、高性能计算等领域，MEMS基准源、传感器等精密模拟器件，是保障系统稳定运行的核心关键。不同于数字芯片依靠工艺缩微提升性能，精密MEMS器件的精度、稳定性与良率，高度依赖衬底材料属性。在实际研发中，多数工艺、结构、电路方案的失败问题，根源往往是衬底选型失误，进而引发温漂超标、信号干扰、光学失效、量产良率低下等各类问题。当前MEMS研发与量产主流衬底分为硅、硼硅玻璃、熔融石英三类，三
