MEMS 器件 - 无锡中慧芯

微流控器件/芯片
微流控器件最主要的加工方法是来自于微电子行业的光刻技术和来自于表面图案化的软光刻技术。在上述两种技术的基础上，为了制作完整的微流控微通道，一般还需要对两片材料进行键合。玻璃和硅片等材料通过高温、高压或高电压等方法键合，而PDMS材料通过氧等离子处理进行键合。微流控芯片采用类似半导体的微机电加工技术在芯片上构建微流路系统，将实验与分析过程转载到由彼此联系的路径和液相小室组成的芯片结构上，加载生物样
柔性电极
专业供应 MEMS 微机电系统工艺制造的柔性电极，融合传统半导体与柔性材料加工技术，产品具备可弯曲拉伸扭曲的优异柔韧性，同时拥有轻量化、高导电性优势，导电材料选择多样，且具备良好生物相容性，应用安全高效，广泛适用于可穿戴设备、脑机接口、各类传感器及柔性电子等领域，支持定制化需求。
探针
无锡中慧芯专业研发生产 AFM 原子力显微镜高性能探针，作为 AFM 核心耗材专为高精度科研需求打造，突破行业技术瓶颈。产品针尖半径达 10 纳米级别，微悬臂参数经严格校准，采用先进干法刻蚀工艺精准控制针尖形态，大幅提升探针分辨率、一致性与成像效果，满足顶尖实验室微观探索的严苛科研要求。
二维材料
专业供应 MEMS 器件专用二维材料，这类材料电子仅能在 1-100nm 非纳米尺度的二维平面自由运动，包含纳米薄膜、超晶格、量子阱等品类，适配 MEMS 器件研发与生产的材料应用需求，支持相关定制化服务，助力二维材料在微机电系统领域的科研与应用。
PMUT
专业供应 MEMS 工艺打造的 PMUT 压电式微机电超声波换能器，基于压电效应实现电能与声能的相互转换，产品具备体积小、功耗低、集成度高、环境适应性强、性能优越的特点，广泛应用于飞行时间（ToF）测距与感应、超声波指纹识别、人机交互等领域，支持定制化需求。
定制氮化硅薄膜窗格
定制氮化硅薄膜窗格是同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外样品结构分析或透射成像实验的理想承载体。中慧芯可根据用户需求，提供定制化解决方案。
MEMS开关器件
MEMS开关是用微机械加工技术集成在普通硅片上的开关。它用在射频到毫米波（0.1到1000GHz）的通讯上。一般分为静电驱动的MEMS开关、电磁驱动的MEMS开关、热驱动MEMS开关、压电体驱动的MEMS开关。中慧芯提供MEMS开关器件加工定制服务。