MEMS 器件 - 无锡中慧芯

微流控器件/芯片
微流控器件最主要的加工方法是来自于微电子行业的光刻技术和来自于表面图案化的软光刻技术。在上述两种技术的基础上，为了制作完整的微流控微通道，一般还需要对两片材料进行键合。玻璃和硅片等材料通过高温、高压或高电压等方法键合，而PDMS材料通过氧等离子处理进行键合。微流控芯片采用类似半导体的微机电加工技术在芯片上构建微流路系统，将实验与分析过程转载到由彼此联系的路径和液相小室组成的芯片结构上，加载生物样
定制氮化硅薄膜窗格
定制氮化硅薄膜窗格是同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外样品结构分析或透射成像实验的理想承载体。中慧芯可根据用户需求，提供定制化解决方案。
光波导芯片
光波导芯片是一种用于传输光信号的集成电路，其主要功能是将电信号转换为光信号，并将光信号传输到另一端。中慧芯提供光波导芯片加工定制服务。
MEMS开关器件
MEMS开关是用微机械加工技术集成在普通硅片上的开关。它用在射频到毫米波（0.1到1000GHz）的通讯上。一般分为静电驱动的MEMS开关、电磁驱动的MEMS开关、热驱动MEMS开关、压电体驱动的MEMS开关。中慧芯提供MEMS开关器件加工定制服务。