MEMS开关是用微机械加工技术集成在普通硅片上的开关。它用在射频到毫米波（0.1到1000GHz）的通讯上。一般分为静电驱动的MEMS开关、电磁驱动的MEMS开关、热驱动MEMS开关、压电体驱动的MEMS开关。中慧芯提供MEMS开关器件加工定制服务。
产品特点：
●支持TSV/TGV晶圆级封装
●具备片上集成能力
●可基于玻璃、石英、高阻硅等衬底进行流片。
典型应用：
●射频前端
●无线通信
●自动测试
●智能电网
MEMS开关是用微机械加工技术集成在普通硅片上的开关。它用在射频到毫米波（0.1到1000GHz）的通讯上。一般分为静电驱动的MEMS开关、电磁驱动的MEMS开关、热驱动MEMS开关、压电体驱动的MEMS开关。中慧芯提供MEMS开关器件加工定制服务。
产品特点：
●支持TSV/TGV晶圆级封装
●具备片上集成能力
●可基于玻璃、石英、高阻硅等衬底进行流片。
典型应用：
●射频前端
●无线通信
●自动测试
●智能电网
| 产品介绍 | 中慧芯提供MEMS开关器件加工定制服务。 光刻、刻蚀、镀膜、键合等加工工艺，欢迎来图定制！ |
