| 英寸 | 直径/mm | 抛面 | 掺杂 | 晶相 | 电阻/Ω.cm | 厚度/um |
| 2寸 | 50.8±0.5 | 双抛 单抛 |
P/N | 100 | 1-20 | 200-500 |
| 3寸 | 76 | 双抛 单抛 |
P/B | 100 | NA | 525±20 |
| 4寸 | 100±0.2 100±0.3 100±0.4 |
双抛 单抛 |
P/N | 100 | 0.001-10 | 200-2000 |
| 6寸 | 150±0.3 | 双抛 单抛 |
P/N | 100 | 1-10 | 500-650 |
| 8寸 | 200±0.3 | 双抛 单抛 |
P/N | 100 | 0.1-20 | 625 |
