MEMS 器件
MEMS 器件
探针

本产品为应用于原子力显微镜(AFM)的高性能探针,作为AFM的核心耗材,本探针专为满足高精度科研需求而设计。面对当前市场上探针普遍存在的寿命短、分辨率不稳定及一致性差等技术瓶颈,无锡中慧芯致力于开发新型探针,旨在提供更可靠、更清晰的成像效果,以满足全球顶尖实验室对微观世界探索的严苛要求。


产品特点:

针尖半径可达到10纳米级别,微悬臂长度与厚度经过严格校准,确保了对样品的高灵敏度扫描。

在工艺上,我们突破传统湿法刻蚀,引入先进的干法刻蚀技术,能够更精准地控制针尖的尖锐度与几何形状,从而显著提升探针的分辨率与一致性。




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