2025.07.01
微纳加工技术:芯片制造的精密引擎
在当今数字化时代,芯片作为电子设备的核心,其制造工艺的进步直接决定了计算性能、能效比和集成度。微纳加工技术作为芯片制造的关键支撑,通过精密的加工方法在纳米尺度上实现器件结构的构建,推动了半导体产业的飞速发展。本文将探讨微纳加工技术在芯片制造中的应用,分析其关键技术及未来发展趋势。1. 微纳加工技术概述微纳加工技术是指在微米(μm)和纳米(nm)尺度上进行材料加工和结构制造的技术,主要包括光刻、刻蚀